Series 23SY-En-UHP
概略図

- 圧力レンジ
- 精度
- 総合精度
- インターフェース
- 温度範囲
- 0…2,5から0…250 bar / 0…30から0…3000 psi
- ± 0,25 %FS
- ± 0,7 %FS @ -10…80 °C
- 4…20 mA, 0…10 V
- -40…125°C
製品概要
23SY-En-UHPシリーズの圧力トランスミッタは、半導体製造における超高純度用途向けに設計されています。関連するSEMI規格に準拠して製造されたこの製品は、完全溶接かつ電解研磨仕上げの設計を採用しており、内部シールが不要なため、汚染のリスクを最小限に抑えます。 堅牢なステンレス鋼製構造により、過酷なガス供給システムにおいても優れた長期安定性と信頼性の高い性能が保証されます。
半導体ガス供給システムやプロセスシステムで一般的に見られるゾーン2の危険区域での使用に適しています。
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